ASF 1400 特点 总质量流量计分 数据最高达200HZ 动态范围：0.01scm-400scm 精度高、分辨率高 经过标定和温度补偿 RS-232和SPI数字接口
技术参数 精度：0-5%FS（23°C） 动态范围：-400 –400 Sccm(直接测量条件下) -100 –400 Sccm Liter/min（含有旁路管的条件下测量值） 无限制（在传统旁路管的条件下） 分辨率：0.1 Sccm（当流速是400sccm /640ms时） 0.0143（1/70）Sccm（当流速是10sccm /640ms时） 最小感知流量：标准值为0.0143（1/70）Sccm；最大值为0.003 Sccm 压力损耗：120Pa 重复性：0.0025%FS，0.025%m.v
